P78A.Z200 系列压电扫描台
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详细信息
P78A.Z200系列压电扫描台是一维Z向运动的纳米定位台，它的行程可达 200μm，中心具有 Φ25mm 通孔，适用于透射光应用
特点
• Z 向运动，行程达 200μm
• 可正向、卧式或倒置使用
• 可定制真空版本
应用
• 表面检测
• 显微成像
• 干涉
• 半导体加工与测试
• 真空环境
